一、学术交流及报告安排

学术交流会

时间：2019年11月23日下午14:00

地点：电信学院会议室

参加人员：学院全体教师

学术报告会

时间：2019年11月23日晚19:00

地点：静远楼419

参加人员：电子17～1-2，电子18-1-2参加，电子19，电信18根据情况自由参加。

二、报告内容

报告题目：MEMS与微系统－MEMS开关器件

报告简介：微机电系统（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，是在微电子技术（半导体制造技术）基础上发展起来的，融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的尺寸在几毫米乃至更小的微型高科技器件。MEMS开关（微机械开关、惯性开关）是具有灵敏度高、损耗小、快速反应、高可靠性的用来控制电路通断或检测外界信号的一类MEMS微执行器件，在汽车电子、无线通讯系统、雷达系统、自动测试系统中具有广泛的应用。本讨论会将着重介绍MEMS惯性开关和RF-MEMS开关器件的基本原理、结构设计、基于表面微加工工艺的实现方法和动态特性测试，并简略介绍微机电系统的基本发展历程、工艺实现方法、主要应用领域以及市场状况。

三、报告人简介

向小健博士2012年本科毕业于东北大学机械系，2019年获得上海交通大学电子科学与技术专业博士学位，现为清华大学博士后，师从郑泉水院士从事超滑MEMS器件方面的研究。向小健博士一直从事微机电系统（MEMS）方面的研究工作，致力于MEMS静电执行器、RF-MEMS开关、MEMS惯性开关、能量采集器等器件的设计、仿真、制造和测试。针对RF-MEMS开关吸合电压高、闭合弹跳问题（严重影响寿命）、工艺鲁棒性等问题，首次提出了一种非线性变刚度抑制方法，得到了国际相关领域专家的关注，并应邀在IEEE Sensors和IEEE Transducers顶级会议上作口头报告（ORAL）。截止目前，向小健博士在本领域顶级期刊（IEEE JMEMS、APL、EDL、JMM等）与会议（IEEE MEMS、IEEE Sensors，IEEE Transducers）上已发表20余篇相关论文，并担任IEEE JMEMS、APL、SMS、JMM等顶级MEMS期刊审稿人。